在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）是生產(chǎn)高質(zhì)量晶圓的關(guān)鍵工藝，而CMP機(jī)器墊拋光則是這一工藝的核心環(huán)節(jié)。其目標(biāo)是通過精確去除多余材料，為晶圓打造出高鏡面光潔度的光滑表面，以滿足硬盤等組件對(duì)存儲(chǔ)和檢索信息的高精度要求。在這一復(fù)雜且成本高昂的生產(chǎn)過程中，力的精確控制至關(guān)重要，而Proportion-Air的比例閥憑借其優(yōu)秀性能，成為保障CMP機(jī)器墊拋光質(zhì)量的關(guān)鍵因素。

在CMP機(jī)器墊拋光過程中，不同類型的墊片需在晶圓上施加一致且可重復(fù)的力，才能創(chuàng)建出符合規(guī)格的表面。若墊片不平整或力控制不精準(zhǔn)，拋光后的晶圓將無法達(dá)標(biāo)，導(dǎo)致巨大的經(jīng)濟(jì)損失。Proportion-Air的QPV2電子控制閥在這一環(huán)節(jié)發(fā)揮了核心作用。它采用低摩擦或無摩擦的氣缸實(shí)現(xiàn)力的精確控制，通過負(fù)載傳感器進(jìn)行實(shí)時(shí)反饋。其滿量程±0.005%的超高分辨率，能夠敏銳捕捉力的微小變化，并迅速做出調(diào)整，確保力的施加始終精準(zhǔn)無誤。同時(shí)，滿量程±0.02%的高重復(fù)性，保證了在相同命令信號(hào)下，每次產(chǎn)生的力都一致，為晶圓拋光提供了可靠的力控制保障。

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，確保穩(wěn)定運(yùn)行

為了確保CMP機(jī)器墊拋光過程的穩(wěn)定性和可靠性，持續(xù)的數(shù)據(jù)采集和監(jiān)測(cè)必bi不可少。QPV2電子控制閥從下游壓力輸出的模擬監(jiān)測(cè)信號(hào)可在主電氣連接器上輕松獲取，這一設(shè)計(jì)使得操作人員能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)氣缸上的壓力變化，及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問題并進(jìn)行調(diào)整。無論是在正常運(yùn)行過程中進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)控，還是在出現(xiàn)故障時(shí)進(jìn)行診斷分析，這些實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)都為維護(hù)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行提供了有力支持，有效避免了因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷和質(zhì)量問題。

靈活適配，滿足多樣需求

除了QPV2電子控制閥，Proportion-Air的QB2比例閥在CMP機(jī)器墊拋光應(yīng)用中也具有特別優(yōu)勢(shì)。當(dāng)不需要QPV2那樣極ji高的分辨率性能時(shí)，QB2比例閥成為了一個(gè)經(jīng)濟(jì)可行的解決方案。它同樣具備收集和發(fā)送模擬輸出回到PLC或控制器進(jìn)行數(shù)據(jù)采集的功能，能夠滿足不同生產(chǎn)場(chǎng)景下的監(jiān)測(cè)需求。這種靈活的產(chǎn)品選擇，使得半導(dǎo)體制造商可以根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)要求，在保證拋光質(zhì)量的前提下，合理控制成本，提高生產(chǎn)效益。

QPV系列，優(yōu)秀性能保障

QPV超高分辨率電控氣動(dòng)閉式比例壓力控制閥作為Proportion-Air的明星產(chǎn)品，在CMP機(jī)器墊拋光應(yīng)用中展現(xiàn)出了優(yōu)秀的性能。其最zui低可校準(zhǔn)至0 - 2英寸水柱，能夠滿足對(duì)微小壓力控制的嚴(yán)格要求，適用于低壓力泄漏測(cè)試、點(diǎn)膠和微流體流量控制等敏感應(yīng)用場(chǎng)景，在CMP工藝中也能輕松應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜的壓力控制需求。該閥采用可變孔徑閥設(shè)計(jì)，消除了傳統(tǒng)ON/OFF電磁閥的數(shù)字級(jí)差，實(shí)現(xiàn)了壓力的平滑連續(xù)調(diào)節(jié)，進(jìn)一步提高了力控制的精度和穩(wěn)定性。

此外，QPV系列壓力調(diào)節(jié)器具有出色的技術(shù)規(guī)格。其壓力范圍覆蓋真空通過150磅每平方英寸（10.3巴），能夠適應(yīng)不同的工作壓力環(huán)境；準(zhǔn)確性達(dá)到±0.2%全量程，確保壓力控制的精準(zhǔn)度；最大流基于進(jìn)氣閥孔尺寸，可滿足不同流量需求；端口大小提供1/8″ NPT（可選BSPP），方便與各種設(shè)備連接；耐用性方面，抗沖擊和振動(dòng)（高達(dá)25 Gs），能夠在惡劣的工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行；工作溫度范圍為32 - 158°F (0 - 70°C)，適應(yīng)不同的工作環(huán)境溫度；過濾精度為40微米，有效保護(hù)閥門內(nèi)部零件，延長(zhǎng)使用壽命。而且，和Proportion-Air大多數(shù)產(chǎn)品一樣，QPV可以根據(jù)苛刻的應(yīng)用需求進(jìn)行多種方式改裝，為半導(dǎo)體制造商提供了高度定制化的解決方案。

Proportion-Air的比例閥憑借其精確的力控制、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功能、靈活的產(chǎn)品適配性以及優(yōu)秀的性能規(guī)格，在CMP機(jī)器墊拋光應(yīng)用中發(fā)揮著不可替代的作用。它為半導(dǎo)體制造商提供了可靠的技術(shù)支持，助力生產(chǎn)出高質(zhì)量的晶圓，推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)不斷向前發(fā)展。如有需求， 歡迎咨詢天津聯(lián)科思創(chuàng)科技發(fā)展有限公司。